几何精度——组成设备零件工作面的几何形状精度，取决于设备的部件精度以及部件之间的位置精度和运动精度，几何精度是保证设备工作精度的最基本条件。
传动精度——设备内相互联系的传统链运动关系的准确度，决定了设备实现复合运动轨迹的精度。
定位精度——设备上的运动件从一个位置到另一个位置的准确度。
上面介绍的几何精度、传动精度、定位精度，这些由各组成机构零件的加工和装配决定的精度又称为静态精度。通常深圳机加工企业都是在精密机械零件加工设备未承受载荷，没有运动或者低速运动中测得的精度。
但是，在实际设备工作中要承受载荷，零件、部件受力后会发生变形，传动系统摩擦会产生热，工作环境的温度会变化，传动机构的速度、加速度发生变化时要产生振动，这些因素的影响将导致静态精度发生变化，该变化了的静态精度成为动态精度。它主要决定于设备的刚性、抗震性和热稳定性。
